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Peichen Yu

Research

1.光學微影與半導體製程

2.光學鄰近修正 (Optical Proximity Correction)

3.超穎透鏡與功能性奈米結構

4.深度學習於半導體製程的應用

5.光電半導體元件與材料

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劉學澧

超穎表面、智能微影
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方柏勛

計算微影、智能微影
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超穎表面、智能微影
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超穎表面、智能微影

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